| Module | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|---|---|---|---|---|
| Einführung in die Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 337663 | ||
| Fach-/Modulprüfung | 6 | 274898 | |||
| Konstruktion von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 274897 | ||
| Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 284301 | ||
| Ultrapräzisionstechnik II | Fach-/Modulprüfung | 6 | 284300 | ||
| Vorlesung | 268691 | Mo 09:00-17:00 t.b.d. (×1) Di 09:00-17:00 t.b.d. (×1) Mi 09:00-17:00 t.b.d. (×1) Do 09:00-17:00 t.b.d. (×1) Fr 09:00-17:00 t.b.d. (×1) | |||
| Übung | 269978 |