| Module | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|---|---|---|---|---|
| Einführung in die Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 351371 | ||
| Vorlesung | 282430 | Do 14:30-16:00 Lu (1320|301) (×12) | |||
| Übung | 279053 | ||||
| Konstruktion von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 351370 | ||
| Vorlesung/Übung | 278925 | Mi 14:30-16:00 t.b.d. (×13) Mi 16:30-18:00 t.b.d. (×13) | |||
| Mikrotechnische Konstruktion | Fach-/Modulprüfung | 6 | 351311 | ||
| Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 362341 | ||
| Vorlesung/Übung | 280455 | Mo 09:00-17:00 S06 (1385|206) (×1) Di 09:00-17:00 S06 (1385|206) (×1) Mi 09:00-17:00 S06 (1385|206) (×1) Do 09:00-17:00 S06 (1385|206) (×1) | |||
| Ultrapräzisionstechnik II | Fach-/Modulprüfung | 6 | 353957 |