| Module | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|---|---|---|---|---|
| Einführung in die Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 384921 | ||
| Vorlesung | 383198 | Fr 10:30-12:00 Be 225 (1140|225) (×12) | |||
| Übung | 381189 | ||||
| Konstruktion von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 387307 | ||
| Vorlesung/Übung | 381123 | Do 10:30-12:00 t.b.d. (×12) | |||
| Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 386715 | ||
| Vorlesung/Übung | 381990 | ||||
| Ultrapräzisionstechnik II | Fach-/Modulprüfung | 6 | 386723 |