| Module | Title | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
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| Introduction to Micro Systems Technology | Einführung in die Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 384921 | | |
| Einführung in die Mikrosystemtechnik | Vorlesung | | 383198 | Fr 10:30-12:00 Be 225 (1140|225) (×12) | |
| Einführung in die Mikrosystemtechnik | Übung | | 381189 | | |
| Microsystem Design | Konstruktion von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 387307 | | |
| Konstruktion von Mikrosystemen | Vorlesung/Übung | | 381123 | Do 10:30-12:00 t.b.d. (×12) | |
| Ultra-Precision Technology I | Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 386715 | | |
| Ultrapräzisionstechnik I | Vorlesung/Übung | | 381990 | | |
| Ultra-Precision Technology II | Ultrapräzisionstechnik II | Fach-/Modulprüfung | 6 | 386723 | | |