| Module | Title | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Introduction to Micro Systems Technology | Einführung in die Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 384921 | ||
| Einführung in die Mikrosystemtechnik | Vorlesung | 383198 | Fr 10:30-12:00 Be 225 (1140|225) (×12) | |||
| Einführung in die Mikrosystemtechnik | Übung | 381189 | ||||
| Microsystem Design | Konstruktion von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 387307 | ||
| Konstruktion von Mikrosystemen | Vorlesung/Übung | 381123 | Do 10:30-12:00 t.b.d. (×12) |