| Module | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|---|---|---|---|---|
| Einführung in die Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 423627 | ||
| Vorlesung | 418828 | Do 14:30-16:00 Online-Veranstaltung (×12) | |||
| Übung | 417704 | ||||
| Konstruktion von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 423536 | ||
| Vorlesung/Übung | 418293 | Do 16:30-18:00 Online-Veranstaltung (×12) | |||
| Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 420640 | ||
| Vorlesung/Übung | 420032 | ||||
| Ultrapräzisionstechnik II | Fach-/Modulprüfung | 6 | 423470 |