| Module | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|---|---|---|---|---|
| Einführung in die Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 440704 | ||
| Entwicklung von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 439001 | ||
| Konstruktion von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 439001 | ||
| Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 438204 | ||
| Ultrapräzisionstechnik II | Fach-/Modulprüfung | 6 | 439922 | ||
| Vorlesung | 436255 | Mo 09:00-17:00 t.b.d. (×1) Di 09:00-17:00 t.b.d. (×1) Mi 09:00-17:00 t.b.d. (×1) Do 09:00-17:00 t.b.d. (×1) Fr 09:00-17:00 t.b.d. (×1) | |||
| Übung | 435301 |