| Module | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|---|---|---|---|---|
| Einführung in die Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 454218 | ||
| Vorlesung | 447553 | ||||
| Übung | 448404 | ||||
| Entwicklung von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 467796 | ||
| Fach-/Modulprüfung | 6 | 453499 | |||
| Vorlesung/Übung | 446880 | Mi 12:00-16:00 Extern (×10) Mi 12:30-16:00 Extern (×2) | |||
| Vorlesung/Übung | 446880 | Mi 12:00-16:00 Extern (×10) Mi 12:30-16:00 Extern (×2) | |||
| Konstruktion von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 467796 | ||
| Fach-/Modulprüfung | 6 | 453499 | |||
| Vorlesung/Übung | 446880 | Mi 12:00-16:00 Extern (×10) Mi 12:30-16:00 Extern (×2) | |||
| Konstruktionselemente der Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 467797 | ||
| Fach-/Modulprüfung | 6 | 452561 | |||
| Mikrotechnische Konstruktion | Fach-/Modulprüfung | 6 | 467797 | ||
| Fach-/Modulprüfung | 6 | 452561 | |||
| Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 452620 | ||
| Vorlesung/Übung | 448042 | ||||
| Ultrapräzisionstechnik II | Fach-/Modulprüfung | 6 | 452801 |