| Module | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|---|---|---|---|---|
| Entwicklung von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 493671 | ||
| Fach-/Modulprüfung | 6 | 466794 | |||
| Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 465990 | ||
| Ultrapräzisionstechnik II | Fach-/Modulprüfung | 6 | 465999 | ||
| Vorlesung | 458563 | Mo 09:00-17:00 t.b.d. (×1) Di 09:00-17:00 t.b.d. (×1) Mi 09:00-17:00 t.b.d. (×1) Do 09:00-17:00 t.b.d. (×1) Fr 09:00-17:00 t.b.d. (×1) | |||
| Übung | 459164 |