| Module | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|---|---|---|---|---|
| Entwicklung von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 474617 | ||
| Fach-/Modulprüfung | 6 | 477613 | |||
| Vorlesung/Übung | 470972 | Mi 14:15-17:15 t.b.d. (×13) | |||
| Vorlesung/Übung | 470972 | Mi 14:15-17:15 t.b.d. (×13) | |||
| Konstruktionselemente der Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 474611 | ||
| Fach-/Modulprüfung | 6 | 475291 | |||
| Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 478704 | ||
| Vorlesung/Übung | 472297 | ||||
| Ultrapräzisionstechnik II | Fach-/Modulprüfung | 6 | 474968 |