| Module | Title | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|
| Microsystems development | Entwicklung von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 474617 | | |
| Konstruktion von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 477613 | | |
| Entwicklung von Mikrosystemen | Vorlesung/Übung | | 470972 | Mi 14:15-17:15 t.b.d. (×13) | |
| Entwicklung von Mikrosystemen | Vorlesung/Übung | | 470972 | Mi 14:15-17:15 t.b.d. (×13) | |
| Ultra-Precision Technology I | Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 478704 | | |
| Ultrapräzisionstechnik I | Vorlesung/Übung | | 472297 | | |
| Ultra-Precision Technology II | Ultrapräzisionstechnik II | Fach-/Modulprüfung | 6 | 474968 | | |