| Module | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|---|---|---|---|---|
| Entwicklung von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 493672 | ||
| Fach-/Modulprüfung | 6 | 492736 | |||
| Konstruktionselemente der Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 493670 | ||
| Fach-/Modulprüfung | 6 | 488385 | |||
| Vorlesung/Übung | 484954 | Do 10:30-14:00 t.b.d. (×15) | |||
| Vorlesung/Übung | 484954 | Do 10:30-14:00 t.b.d. (×15) | |||
| Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 491975 | ||
| Ultrapräzisionstechnik II | Fach-/Modulprüfung | 6 | 491983 | ||
| Vorlesung | 484370 | Di 16:30-18:00 t.b.d. (×15) | |||
| Übung | 484946 | Di 14:30-16:00 t.b.d. (×15) |