| Module | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|---|---|---|---|---|
| Entwicklung von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 505608 | ||
| Fach-/Modulprüfung | 6 | 505607 | |||
| Vorlesung/Übung | 497450 | Mi 12:15-15:15 t.b.d. (×13) | |||
| Vorlesung/Übung | 497450 | Mi 12:15-15:15 t.b.d. (×13) | |||
| Konstruktionselemente der Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 501555 | ||
| Fach-/Modulprüfung | 6 | 501556 | |||
| Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 504901 | ||
| Vorlesung/Übung | 498077 | ||||
| Ultrapräzisionstechnik II | Fach-/Modulprüfung | 6 | 504907 |