| Module | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|---|---|---|---|---|
| Microsystems development | Fach-/Modulprüfung | 6 | 519325 | ||
| Ultra-Precision Technology I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 518560 | ||
| Ultra-Precision Technology: Machines | Fach-/Modulprüfung | 6 | 518568 | ||
| Übung | 511413 | Mi 16:30-18:00 SG 202 (1810|202) (×15) | |||
| Vorlesung | 510882 | Mi 14:30-16:00 SG 202 (1810|202) (×15) |