| Module | Title | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|
| Microsystems development | Entwicklung von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 532009 | | |
| Entwicklung von Mikrosystemen | Vorlesung/Übung | | 523917 | Mi 16:15-19:15 S05 (1385|205) (×13) | |
| Entwicklung von Mikrosystemen | Vorlesung/Übung | | 523917 | Mi 16:15-19:15 S05 (1385|205) (×13) | |
| Ultra-Precision Technology I | Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 531349 | | |
| Ultrapräzisionstechnik I | Vorlesung/Übung | | 524502 | | |
| Ultra-Precision Technology: Machines | Ultra-Precision Technology: Machines | Fach-/Modulprüfung | 6 | 531355 | | |