| Module | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|---|---|---|---|---|
| Entwicklung von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 532009 | Do 31.07.2025 09:00-10:30 klPhys (1090|334) | |
| Vorlesung/Übung | 523917 | Mi 16:15-19:15 S05 (1385|205) (×13) | |||
| Vorlesung/Übung | 523917 | Mi 16:15-19:15 S05 (1385|205) (×13) | |||
| Ultra-Precision Technology: Machines | Fach-/Modulprüfung | 6 | 531355 | ||
| Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 531349 | ||
| Vorlesung/Übung | 524502 |