| Module | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|
| Entwicklung von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 545356 | | |
| Konstruktionselemente der Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 540833 | | |
| Fach-/Modulprüfung | 6 | 540834 | | |
| Vorlesung/Übung | | 537324 | Di 12:30-16:00 5054 (2356|054) (×14) | |
| Vorlesung/Übung | | 537324 | Di 12:30-16:00 5054 (2356|054) (×14) | |
| Ultra-Precision Technology: Machines | Fach-/Modulprüfung | 6 | 544613 | | |
| Vorlesung | | 536815 | Mi 14:30-16:00 SG 202 (1810|202) (×15) | |
| Übung | | 537318 | Mi 16:30-18:00 SG 202 (1810|202) (×15) | |
| Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 544606 | | |